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离轴系统装调
单全息共基准装调
通过在同一片全息上不同区域分别制备主镜和三镜检测微结构,最终实现对主镜和三镜的共基准装调
详细说明
通过在同一片全息上不同区域分别制备主镜和三镜检测微结构,最终实现对主镜和三镜的共基准装调
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