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面形检测
自由曲面检测
利用微结构将干涉仪波前转换为特定的自由曲面波前,从而实现zernike自由曲面的高精度面形检测
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利用微结构将干涉仪波前转换为特定的自由曲面波前,从而实现zernike自由曲面的高精度面形检测
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